در این مقاله، یک میکروفن خازنی m‏ems  جدید تک تراشه بر روی ویفر سیلیکونی با کمینه کردن اندازه و کاهش استحکام  مکانیکی با استفاده از دیافراگم دایروی با مرکز ثابت پیشنهاد شده است. در میکروفن پیشنهادی دیافراگم شامل تعدادی حفره می باشد که موجب عبور هوا در شکاف مابین صفحه پشتی و دیافراگم می شود و به این ترتیب میرائی مربوط به صدا را در میکروفن کاهش می دهد. تازگی این روش، ایجاد میکروفن دایروی با مرکز ...

یکی از روشهای رایج برای جداسازی ریز ذرات استفاده از نیروی dielectrophoresis می باشد.تفاوت در ضرایب دی الکتریک و رسانایی ذرات مختلف و محیط سوسپانسیون در فرکانس های مختلف مبنای این نوع جداسازی قرار می گیرد . بدین منظور ساختارهای مختلفی برای ایجاد میدان الکتریکی اعمالی موثر در جداسازی توسط محققان ارائه شده است. در این پایان نامه ساختار کانالی معرفی شده است که میدان الکتریکی مورد نظر برای هدایت سلو...

در این پایان نامه ابتدا، به معرفی کلی تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (mems) پرداخته شده و پیش زمینه ای از آن ارائه گردیده و در خصوص مواد مورد استفاده و روشهای تحریک این گونه سیستم ها توضیحاتی داده شده است. در ادامه، مطالعات انجام شده توسط روش های نیمه تحلیلی در زمینه سیستمهای میکرو الکترومکانیکی مرور شده است سپس، چند روش حل نیمه تحلیلی پرکاربرد معادلات مانند: pm،vim و hpm بطور کامل معرفی...

ژیروسکوپها از دیرباز نقش بسیار مهمی را در جهتیابی و اندازه گیری سرعت زاویه ای در جهات گوناگون، در صنایع مختلف بر عهده داشته اند. با توجه به پیشرفت سریع علوم و فناوریهای نوین و توسعه صنایع مختلف، استفاده از وسایل جدید برای اندازه گیری با دقت بالا در جهات مختلف برای خودروها و هواپیماها امری ضروری است. از پیدایش اولین ژیروسکوپ میکرو الکترومکانیکی بیش از دو دهه نمی گذرد، اما ویژگی های بارز این ن...

در این رساله طراحی، مدلسازی، و شبیه سازی ریزتشدیدگرها و فیلترهای ریزمکانیکی با تحریک الکتروستاتیکی که در سیستمهای مخابراتی قابل استفاده هستند، مورد بررسی قرار می گیرد. ریزتشدیدگر طراحی شده در این پژوهش، دارای ساختاری کاملاً جدید بوده و توانایی ارتعاش در فرکانس 71mhz را دارد. با داشتن ضریب کیفیت حدود 10000 و مقاومت حرکتی برابر با 478 اهم این ریزتشدیدگر می تواند به عنوان عنصر پایه در ساختار فیلتر ...

برداشت انرژی از منابع تجدید پذیری همچون خورشید، ارتعاشات مکانیکی، نوسانات حرارتی و مغناطیس در سیستم های میکرو الکترومکانیکی در دهه های اخیر، توجه بسیاری از محققین را به خود جلب کرده است. در میان این منابع انرژی، پیزوالکتریک ها و پیروالکتریک ها به خاطر سادگیِ طراحی و همچنین پیاده سازی، از اهمیت ویژه ای برخوردار هستند. در این پایان نامه روشی نوین در برداشت انرژی معرفی گردیده که از این دو ماده به ط...

هدف اصلی در این پایان نامه بررسی اثر نفوذ جرم در نسبت میرایی در میکروتیرهای تشدید کننده ‏است. معادلات حرکت حاکم بر این مسئله بر اساس فرض تیر اویلر-برنولی و با استفاده از معادلات لاگرانژ و ‏اصل همیلتون به دست آمده، معادلات ترموالاستیک با استفاده از قانون اول ترمودینامیک و بر اساس فرض ‏انتقال حرارت غیرکلاسیک غیر فوریه نوع اول استخراج شده و همچنین معادله حاکم بر نفوذ جرم نیز بر ‏اساس معادله غیرکلا...

در ده سال اخیر ، سوئیچ های میکرو الکترومکانیکی ( mems ) به خاطر کاربردهای امید بخششان نظیر تلفات پایین ، خاصیت خطی بالا و توان مصرفی dc بسیار ناچیز طرفداران بسیاری پیدا کرده است اما این سوئیچ ها محدودیت هایی از قبیل ولتاژ تحریک بالا و سرعت سوئیچینگ پایین دارند. در این پژوهش سعی شده است تا ساختار جدیدی از سوئیچ rf mems ارائه شود که سرعت سوئیچینگ بالاتری نسبت به دیگر سوئیچ های mems از خود نشان بد...

در این مقاله، یک میکروفن خازنیMEMS  جدید تک تراشه بر روی ویفر سیلیکونی با کمینه کردن اندازه و کاهش استحکام  مکانیکی با استفاده از دیافراگم دایروی با مرکز ثابت پیشنهاد شده است. در میکروفن پیشنهادی دیافراگم شامل تعدادی حفره می‌باشد که موجب عبور هوا در شکاف مابین صفحه پشتی و دیافراگم می‌شود و به این ترتیب میرائی مربوط به صدا را در میکروفن کاهش می‌دهد. ‌تازگی این روش، ایجاد میکروفن دایروی با مرکز ث...